DSX 系列數(shù)碼顯微鏡將我們**的光學(xué)技術(shù)與先進(jìn)的數(shù)字技術(shù)融為一體。DSX1000 數(shù)碼顯微鏡用于觀察和測量各種樣品，包括電子元件和金屬材料。此顯微鏡使用簡單，只要放上樣品，就可以輕松地完成 3D 觀察、測量、報(bào)告自動(dòng)生成等一系列操作。
您只需要一臺 DSX1000 顯微鏡就可滿足各種觀察和分析需要，改善檢驗(yàn)的工作流程。鏡頭數(shù)量增加至 15 個(gè)，涵蓋20-7,000X的放大倍率。用戶還可以利用該顯微鏡的六種觀察方法，對各種樣品進(jìn)行觀察與測量。比如突出顯示樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。顯微鏡頭部和載物臺可以分別進(jìn)行± 90°的自由角度調(diào)節(jié)，從而滿足對各種復(fù)雜外形樣品的任意角度觀察。另外，新開發(fā)的算法可以實(shí)現(xiàn)更快的 3D 圖像采集，與奧林巴斯傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡相比，速度快了近十倍。*后，我們將根據(jù)每位用戶的工作環(huán)境校準(zhǔn)顯微鏡，以幫助用戶實(shí)現(xiàn)**、高效的觀察和測量。
主要特點(diǎn)
1、放大倍率范圍 20–7,000X，可旋轉(zhuǎn)式載物臺
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡新增了 5 個(gè)物鏡，物鏡總數(shù)達(dá)到 15 個(gè)。20-7,000X 的放大倍率范圍實(shí)現(xiàn)了**觀察，而長工作距離物鏡則實(shí)現(xiàn)了對不規(guī)則樣品的觀察，例如電路板和機(jī)加工零件。顯微鏡頭部和載物臺都可以旋轉(zhuǎn)± 90°，更易于觀察和分析薄樣品，如晶圓，或大型樣品，如汽車部件。
可調(diào)節(jié)的頭部和載物臺
顯微鏡頭部和載物臺可以分別旋轉(zhuǎn)± 90°
使用高分辨率長工作距離的物鏡
長工作距離使用戶能夠觀察不規(guī)則形狀的電子基板。
20–7,000X 放大倍率下的晶圓圖像對比
2、可迅速切換物鏡和六種觀察方式
顯微鏡的電動(dòng)變焦光路結(jié)合了先進(jìn)的觀察功能，可實(shí)現(xiàn)六種觀察方法和對比度增強(qiáng)功能：明場、暗場、MIX、偏光、簡易偏振和微分干涉。偏光觀察和對比度增強(qiáng)功能可以突出樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。例如，此功能可用于在觀察晶圓表面較大的不規(guī)則形狀與細(xì)微破損和劃痕之間快速切換。從而用戶可以觀察到使用其他方法難以檢測到的對象。
太陽能電池圖像對比
（左圖：明場觀察，右圖：偏光觀察）
單側(cè)光線照射突出了表面的不規(guī)則形狀。該項(xiàng)技術(shù)適用于觀察不規(guī)則形狀、扭曲的樣品和槽口。
集成電路 (IC) 芯片圖像對比
（左圖：常規(guī)；右圖：帶對比度增強(qiáng)功能）
色彩清晰明亮的圖像替代了明暗圖像。
3、遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)保證了在整個(gè)放大范圍內(nèi)的測量**性。*
汽車制造商、精密設(shè)備和其他產(chǎn)品制造商必須**測量和分析產(chǎn)品的規(guī)格，以證明產(chǎn)品的**性。DSX1000 數(shù)碼顯微鏡使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，在整個(gè)放大范圍內(nèi)圖像失真極低，實(shí)現(xiàn)了有保證的準(zhǔn)確度和重復(fù)性的高精度測量。為了確保準(zhǔn)確度，在完成 DSX1000 顯微鏡的安裝后，奧林巴斯的技術(shù)人員將根據(jù)客戶使用環(huán)境對每臺顯微鏡進(jìn)行校準(zhǔn)。
遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)和非遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的圖像采集對比圖
改變聚焦位置不會改變圖像大小。
此新聞稿中的公司名稱和產(chǎn)品名稱分別是其對應(yīng)公司的商標(biāo)或注冊商標(biāo)。
*必須由奧林巴斯進(jìn)行校準(zhǔn)。
DSX1000數(shù)碼顯微鏡規(guī)格
|
|
DSX10-SZH
|
DSX10-UZH
|
|
光學(xué)系統(tǒng)
|
光學(xué)系統(tǒng)
|
遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)
|
|
變焦倍率
|
10X (電動(dòng))
|
|
變焦放大方式
|
電動(dòng)
|
|
校準(zhǔn)
|
自動(dòng)
|
|
鏡頭附件
|
快速切換，編碼型鏡頭附件，自動(dòng)更新放大倍率和視野信息
|
|
*大總放大倍率（顯示器上）
|
7000X
|
|
工作距離 (W.D.)
|
66.1 mm – 0.35 mm
|
|
準(zhǔn)確度和重復(fù)性（X-Y 平面）*1
|
放大倍率準(zhǔn)確度：3%
放大倍率重復(fù)性：± 2% = 3σ n -1
|
|
重復(fù)性（Z 軸）*2
|
重復(fù)性（高度）: σ n – 1 ≤ 1 μm
|
|
照像機(jī)
|
圖像傳感器
|
1 / 1.2 英寸，235 萬像素彩色 CMOS
|
|
冷卻
|
珀?duì)柼鋮s
|
|
幀速率
|
60 fps（*大）
|
|
常規(guī)
|
1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
|
|
精細(xì)
|
不可用
|
1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
|
|
超精細(xì)
|
不可用
|
3600 × 3600 (1: 1) / 4800 × 3600 (4: 3)
|
|
照明器
|
彩色光源
|
LED
|
|
壽命
|
60,000 小時(shí)（設(shè)計(jì)值）
|
|
觀察方法
|
BF (明場)
|
標(biāo)準(zhǔn)
|
|
OBQ (偏斜)
|
標(biāo)準(zhǔn)
|
|
DF (暗場)
|
標(biāo)準(zhǔn)
LED 光源四分區(qū)環(huán)形照明
|
|
MIX (明場 + 暗場)
|
標(biāo)準(zhǔn)
明場 + 暗場 同時(shí)照明
|
|
PO (偏光)
|
標(biāo)準(zhǔn)
|
|
DIC (微分干涉)
|
不可用
|
標(biāo)準(zhǔn)
|
|
對比度增強(qiáng)
|
標(biāo)準(zhǔn)
|
|
景深擴(kuò)展
|
不可用
|
標(biāo)準(zhǔn)
|
|
透射照明
|
標(biāo)準(zhǔn)*3
|
|
聚焦裝置
|
驅(qū)動(dòng)方式
|
電動(dòng)
|
|
行程
|
101 mm (電動(dòng))
|
*1 必須由奧林巴斯或代理商的服務(wù)技術(shù)人員進(jìn)行校準(zhǔn)。為了保證 XY 的準(zhǔn)確度，需要用 DSX-CALS-HR（校準(zhǔn)標(biāo)樣）進(jìn)行校準(zhǔn)。
*2 當(dāng)使用 20X 或以上的物鏡時(shí)。
*3 需要使用選配件 DSX10-ILT。
|
物鏡
|
DSX10-SXLOB
|
DSX10-XLOB
|
UIS2
|
|
物鏡
|
*大樣品高度
|
50 mm
|
115 mm
|
145 mm
|
|
*大樣品高度（自由角度觀察）
|
50 mm
|
|
齊焦距離
|
140 mm
|
75 mm
|
45 mm
|
|
鏡頭附件
|
鏡頭附件一體形
|
可用
|
|
總放大倍率
|
20X – 1400X
|
42X – 5600X
|
23X*4 – 7000X
|
|
實(shí)際視場
|
19,200 μｍ – 270 μｍ
|
9,100 μｍ – 70 μｍ
|
17,100 μｍ – 50 μｍ
|
|
適配器
|
擴(kuò)散照明裝置（可選）
|
可用
|
不可用
|
|
防反射照明裝置（可選）
|
可用
|
不可用
|
|
鏡頭附件
|
安裝物鏡數(shù)量
|
1 個(gè)（物鏡和鏡片附件一體型）
|
2 個(gè)
|
|
物鏡盒
|
可保存三個(gè)物鏡附件
|
*4 使用 MPLFLN1.25X 時(shí)的總放大倍率
|
載物臺
|
DSX10-RMTS
|
DSX10-MTS
|
U-SIC4R2
|
|
XY 載物臺：電動(dòng)/ 手動(dòng)
|
電動(dòng)（帶旋轉(zhuǎn)功能）
|
電動(dòng)
|
手動(dòng)
|
|
XY 行程
|
行程優(yōu)先模式：100 mm × 100 mm
旋轉(zhuǎn)優(yōu)先模式：50 mm× 50 mm
|
100 mm × 100 mm
|
100 mm × 105 mm
|
|
旋轉(zhuǎn)角度
|
行程優(yōu)先模式：±20°
旋轉(zhuǎn)優(yōu)先模式：±90°
|
不可用
|
|
旋轉(zhuǎn)角度顯示
|
有
|
不可用
|
|
承重
|
5 kg (11 lb)
|
1 kg (2.2 lb)
|
|
機(jī)架
|
正置式機(jī)架
|
傾斜式機(jī)架
|
|
Z 軸行程
|
50 mm (手動(dòng))
|
|
傾斜觀察角度
|
不可用
|
±90°
|
|
傾斜角度顯示
|
不可用
|
有
|
|
傾斜方式
|
不可用
|
手動(dòng)、固定/ 解除手柄
|
|
顯示器
|
23 英寸平板顯示器
|
|
分辨率
|
1920 (H) × 1080 (V)
|
|
全系統(tǒng)
|
正置式機(jī)架系統(tǒng)
|
傾斜式機(jī)架系統(tǒng)
|
|
重量（鏡架、觀察頭、電動(dòng)載物臺、顯示器和控制臺）
|
43.7 kg (96.3 lb)
|
46.7 kg (103 lb)
|
|
功耗
|
100 – 120 V / 220 – 240 V, 1.1 / 0 .54 A, 50 / 60 Hz
|